Sakelar Tahanan Vakum Tinggi

Seri GN

Saklar sentuh yang tidak mengeluarkan gas, yang dapat menjadi masalah di lingkungan vakum seperti ruang vakum.

Seri GN diproduksi hanya menggunakan komponen yang tidak menghasilkan pelepasan gas dan dapat digunakan dalam lingkungan vakum tinggi hingga 10-5 Pa ( unit tekanan Pascal). Diproduksi di ruang bersih untuk pengendalian kontaminasi yang menyeluruh.
Banyak aplikasinya meliputi lini produksi semikonduktor.

  • Dibuat di Jepang
  • Penjualan jangka panjang
  • Pengurangan Pelanggan
  • Sangat ringkas
  • Ketahanan vakum tinggi /
    Gas habis
  • Spesifikasi tahan panas

Mengapa Memilih Kami?

Saklar sentuh dengan emisi gas rendah yang kompatibel dengan kelas vakum tinggi.

Saklar sentuh dengan emisi gas rendah yang kompatibel dengan kelas vakum tinggi.

Terbuat sepenuhnya dari komponen yang tidak menghasilkan pelepasan gas, alat ini dapat digunakan dalam lingkungan vakum tinggi hingga 10-5 Pa.
Produk ini telah diterapkan untuk memposisikan wafer dan masker dalam peralatan penguapan vakum dan sputtering oleh sejumlah produsen peralatan semikonduktor besar.
– Suhu maksimum 120℃
– Tidak menggunakan gemuk atau oli.

Sensor berbiaya rendah untuk digunakan di lingkungan vakum.

Sensor berbiaya rendah untuk digunakan di lingkungan vakum.

Sensor serat optik dan sensor perpindahan yang kompatibel dengan vakum harganya lebih dari $2.000 USD per unit, termasuk amplifier dan konektor.
Seri GN berbiaya rendah dan memungkinkan Anda untuk mengurangi biaya.

Jajaran produk yang lengkap untuk menyesuaikan dengan kondisi operasional.

Jajaran produk yang lengkap untuk menyesuaikan dengan kondisi operasional.

Beragam pilihan tersedia untuk memenuhi berbagai kondisi aplikasi, seperti sentuhan langsung, kabel arah siku-siku, dan tipe kontak bola, dan masih banyak lagi.

Kustomisasi Material agar sesuai dengan lingkungan operasional.

Kustomisasi Material agar sesuai dengan lingkungan operasional.

Lingkungan vakum setiap pelanggan berbeda.
Bahan bodi sensor dan kabel dapat disesuaikan agar sesuai dengan lingkungan Anda.
Gambar tersebut menunjukkan spesifikasi perunggu fosfor.

Tindakan Pencegahan Kontaminasi

Tindakan Pencegahan Kontaminasi

Diproduksi di ruang bersih yang khusus untuk seri GN, yang terpisah dari jalur produksi reguler, untuk memastikan pencegahan kontaminasi yang ketat.

Opsi penyesuaian berikut tersedia tergantung pada aplikasinya.

Opsi penyesuaian berikut tersedia tergantung pada aplikasinya.

– Panjang Kabel

Tergantung pada lingkungan penggunaannya, kami dapat menyesuaikan material komponen seperti probe kontak, casing, kabel, atau lainnya.

Apa yang dimaksud dengan "saklar pemosisian" yang tidak mengeluarkan gas dalam ruang hampa?

Lini Produk

Cocok untuk pengukuran sentuh miring ( tipe sentuh bola)

PN Mode keluaran Repeatabilitas Luar Langkah Kode IP / struktur perlindungan DIPIMPIN Harga Unduh
GN-BP161B GN-BP161B B:NC 10μm M16×1 2,9 mm IP40 tanpa Beli di
AutomationDirect
GN-BP5MA GN-BP5MA A: TIDAK 10μm M5×0.5 0,8 mm IP40 tanpa Beli di
AutomationDirect
GN-BP5MA-R GN-BP5MA-R A: TIDAK 10μm M5×0.5 0,8 mm IP40 tanpa Beli di
AutomationDirect

Untuk aplikasi sentuhan langsung

PN Mode keluaran Repeatabilitas Luar Langkah Kode IP / struktur perlindungan DIPIMPIN Harga Unduh
GN-CSK141B GN-CSK141B B:NC 10μm M14×0.5 5 mm IP40 tanpa Beli di
AutomationDirect
GN-PT5M3A GN-PT5M3A A: TIDAK 3μm M5×0.5 1,5 mm IP40 tanpa Beli di VONA Beli di
AutomationDirect
GN-PT5M3A-R GN-PT5M3A-R A: TIDAK 3μm M5×0.5 1,5 mm IP40 tanpa Beli di VONA
GN-PT5M3B GN-PT5M3B B:NC 3μm M5×0.5 1,5 mm IP40 tanpa Beli di VONA Beli di
AutomationDirect
GN-PT5M3B-R GN-PT5M3B-R B:NC 3μm M5×0.5 1,5 mm IP40 tanpa Beli di VONA

Spesifikasi Utama

Repeatabilitas 3μm / 10μm (Rentang)
Gaya Kontak 0,5N - 1,5N
Diameter luar 5 - 16 mm
Panjang keseluruhan 18 - 47 mm
Cara menyentuh benda-benda tersebut sentuhan langsung / sentuhan miring / sentuhan geser
Langkah 1.0mm - 5mm
Struktur pelindung IP40
Rentang suhu operasi 0 - 120℃
Struktur Sakelar Kontak kering
Mode keluaran A : TIDAK / B : TIDAK
Pretravel 0 - 0,3 mm
Diferensial gerak 0
Seumur Hidup 3 juta
Bahan Kontak A(NO):PEEK / B(NC):SUS HRC45
Material casing SUS304
Kabel Kabel inti PTFE 0,5m (×2), tahan minyak, ⌀0,66, kekuatan tarik 15N setara AWG27
Pergeseran suhu 0 (karena tidak ada penguat)
Osilasi 10 - 55Hz Amplitudo total 1,5 untuk X, Y, Z masing-masing arah
Benturan 300 km untuk X, Y, Z masing-masing arah
Kapasitas kontak Arus stabil: 10mA atau kurang (Arus deras: 20mA atau kurang)
Aksesori standar Dua mur pengikat
Vakum yang kompatibel 10 - 5Pa
Suhu pemanggangan yang diperbolehkan 120 ℃
Catatan: Kecepatan operasi yang lebih lambat dari 10 mm/menit TIDAK disarankan.
DEKLARASI KESESUAIAN UNI EROPA DEKLARASI KESESUAIAN UNI EROPA

Aplikasi: (Contoh)

Peralatan vakum fotovoltaik (PV)

Peralatan vakum fotovoltaik (PV)

Peralatan vakum fotovoltaik (PV)
Penempatan Substrat kaca

Sistem deposisi Vakum untuk FPD

Sistem deposisi Vakum untuk FPD

Deteksi posisi baki Masker

Ruang Vakum

Ruang Vakum

Deteksi keberadaan/ketidakberadaan wafer semikonduktor

Sistem deposisi Vakum untuk FPD

Sistem deposisi Vakum untuk FPD

Penyelarasan Substrat kaca

Sistem deposisi Vakum untuk FPD

Sistem deposisi Vakum untuk FPD

Operator yang memulai

Artikel terkait

Kontak