Bagaimana mencapai penempatan hemat ruang di lingkungan vakum tinggi dengan pelepasan gas rendah?

Masalah apa saja yang terjadi di lingkungan vakum?

Berbagai masalah disebabkan oleh pelepasan gas.

"Pelepasan gas" adalah salah satu masalah terpenting dalam proses manufaktur di lingkungan vakum.
Hal ini terjadi pada berbagai komponen seperti jig, suku cadang, perekat, dan kabel ketika digunakan dalam lingkungan vakum.

Gas yang keluar dari material menempel pada dinding bagian dalam ruang vakum dan benda kerja, sehingga menyebabkan masalah seperti:

• Penurunan hasil produksi akibat produk cacat
• Masalah kualitas
• Peningkatan biaya inspeksi

Oleh karena itu, penting untuk memilih dan menggunakan jig, komponen, dan material dengan "pelepasan gas rendah" untuk digunakan dalam lingkungan vakum.

Diperlukan desain untuk ruang kecil.

Karena peralatan manufaktur semikonduktor dan ruang vakum hanya memiliki ruang kecil di dalamnya, perancang perlu membuat gambar dengan ruang terbatas dan menggunakan material dengan pelepasan gas rendah.

Oleh karena itu, "Bagaimana mendesain peralatan tanpa menghasilkan pelepasan gas dalam lingkungan vakum dengan ruang terbatas?" dapat menjadi salah satu masalah utama dalam manufaktur di lingkungan vakum tinggi.

Apa saja fitur-fitur dari sakelar tahan vakum tinggi?

 

Pengenalan 3 fitur sakelar tahan vakum tinggi seri GN:

Produk ini adalah "saklar sentuh" ​​yang mengeluarkan sinyal ON/OFF dengan cara menyentuh jig atau benda kerja.
Alat-alat ini umumnya digunakan dengan semua jenis peralatan dan robot untuk menentukan posisi dan lokasi tempat awal .

Berikut ini adalah tiga fitur dari unit seri GN yang kompatibel dengan vakum.

Fitur 1: Bahan dengan pelepasan gas rendah digunakan untuk bodi sakelar.
Fitur 2: Ukuran ultra-kompak memungkinkan penghematan ruang
Fitur 3: Perakitan dilakukan di ruang bersih untuk mencegah kontaminasi Katalog

Fitur 1: Bahan dengan pelepasan gas rendah digunakan untuk bodi sakelar.

Sakelar Tahan Vakum Tinggi
terbuat dari bahan yang meminimalkan terjadinya pelepasan gas, penyebab umum kontaminasi, dengan hampir tidak ada pelepasan gas yang dihasilkan bahkan dalam lingkungan kelas vakum tinggi 10-5 Pa.

Bahan-bahan yang digunakan untuk badan sakelar adalah sebagai berikut.

[Bahan tubuh]
・SUS304
・SUS420
・BsBM



[Bagian Resin ]
“PEEK” digunakan untuk bagian resin di dalam sakelar yang kompatibel dengan vakum.
Ini adalah material dengan emisi gas rendah dan kandungan senyawa organik volatil serta ion logam yang sangat rendah, sehingga memungkinkan penggunaan di lingkungan vakum tanpa perlu khawatir akan kontaminasi.

[Kabel tubuh]
Menggunakan bahan "PTFE" .

[Perekat: Torr Seal]
Menggunakan perekat dengan emisi gas rendah “Torr Seal” .

[Zat penyusun lainnya]
Sakelar Tahanan Vakum Tinggi tidak menggunakan gemuk, pelumas, atau oli apa pun .



Katalog

Fitur 2: Ukuran ultra-kompak memungkinkan penghematan ruang

Sakelar Tahan Vakum Tinggi seri GN adalah sakelar pemosisian ultra-kompak yang dapat dipasang dengan mudah di ruang sempit.

Fitur 3: Pelepasan gas rendah bahkan dalam lingkungan kelas vakum tinggi 10-5 Pa

Badan sakelar terbuat dari bahan dengan pelepasan gas rendah yang dapat digunakan di lingkungan vakum tinggi (10-1 Pa hingga 10-5 Pa).
Beberapa proses vakum tinggi umum yang digunakan dalam industri meliputi deposisi vakum, sputtering, dan peralatan pemrosesan film tipis.

※Lingkungan biasa ~ lingkungan vakum tinggi: HV: vakum tinggi (10-1Pa~10-5Pa)

Fitur 4: Dirakit di ruang bersih untuk mencegah kontaminasi

Sakelar Tahan Vakum Tinggi dirakit dengan kondisi berikut untuk mencegah kontaminasi.
• Komponen untuk perakitan dibersihkan sebelum digunakan
・ Perakitan dilakukan di ruang bersih (cleanroom)
・ Sarung tangan lateks (bebas bedak) digunakan saat merakit Katalog

Memilih Antara Berbagai Jenis Sakelar Tahan Vakum Tinggi

Berikut ini adalah lima opsi spesifikasi yang tersedia untuk dipilih.

・Bentuk Kontak
・Arah kabel
Panjang Kabel
・Mode Operasi : Normally open (NO) atau Normally closed (NC)
・ Diameter/ Panjang Langkah





Spesifikasi 1: Bentuk Kontak

Sakelar tersebut mengeluarkan sinyal ketika permukaan kontak disentuh.

Bentuk kontak harus dipilih sesuai dengan sudut di mana objek akan disentuh.
Berikut ini adalah dua jenis bentuk kontak yang tersedia untuk Sakelar Tahanan Vakum Tinggi.

(1) Kontak Lurus
(2) Kontak Miring


(1) Saat kontak disentuh dari depan: " tipe kontak Lurus " (seri PT)
*Catatan peringatan
Jenis kontak Lurus tidak dapat digunakan jika terjadi kontak pada sudut tertentu karena titik kontak atau bagian dalamnya dapat rusak.
Harap selalu atur sedemikian rupa untuk memastikan kontak terjadi dari arah lurus.

(2) Ketika kontak disentuh pada sudut: “ tipe kontak Miring ” (Seri kontak bola BP)
・Benda kerja dengan permukaan kontak melengkung
・ Panel LCD besar atau benda kerja papan sirkuit yang mungkin melengkung
Pilih sakelar kontak miring (seri BP) dengan kontak bola pada kasus-kasus di atas.

Sakelar tahan vakum tinggi tipe kontak bola tersedia dalam 2 jenis diameter dan panjang langkah.
・Panjang langkah tipe M5: 0,8 mm
・Panjang langkah tipe M16: 2,9 mm

Katalog

Spesifikasi 2: Arah kabel

Pilih salah satu dari 2 jenis arah kabel sakelar berikut.

(1) Lurus
(2) 90°(R)

Pilih arah sesuai dengan cara Anda ingin mengatur kabel di dalam perangkat atau ruang vakum yang terbatas.

Spesifikasi 3: Panjang Kabel

Panjang kabel standar untuk Sakelar Tahan Vakum Tinggi adalah 0,5 m .

Panjangnya dapat dipilih dari tiga jenis opsi berikut.

《Opsi panjang kabel》
・1m
・3m
・5m

Spesifikasi 4: Mode Operasi

Terdapat 2 mode operasi, yaitu normally open dan normally closed.

Titik operasi sinyal berbeda antara mode normally open dan normally closed.

・Normally open (TIDAK):
Sinyal akan dikeluarkan ketika sakelar bersentuhan dengan permukaan kontak dan ditekan sejauh 0,2 hingga 0,3 mm.
・Normally closed (NC):
0 jarak tempuh awal (jarak yang ditempuh sebelum sinyal diaktifkan). Sinyal dikeluarkan ketika terjadi kontak dengan target.

Ringkasan spesifikasi:

・Bentuk Kontak
・Arah kabel
Panjang Kabel
・Mode Operasi : Normally open (NO) atau Normally closed (NC)
・ Katalog Diameter

《 Meja Spesifikasi Sakelar Tahan Vakum Tinggi Seri GN 》

*1: Panjang keseluruhan = Dari ujung kontak hingga ujung badan (tidak termasuk panjang kabel)

*2: Satuan panjang: mm

Pertanyaan yang Sering Diajukan & Hal-Hal yang Perlu Diingat

Suhu Tahan panas (batas atas dan bawah)

Batas atas ketahanan panas untuk sakelar tahan vakum tinggi adalah 120°C dan batas bawahnya adalah 0°C.
Saat memanggang untuk mengeluarkan gas, alat ini dapat digunakan hingga suhu 120°C selama kurang lebih 2 jam tanpa masalah.

Kecepatan Operasi dan getaran

Hindari penggunaan kecepatan operasi rendah 10 mm/menit atau kurang karena ada risiko terjadinya getaran.

Kehidupan Kontak

Dapat digunakan untuk 3 juta transisi ON⇔OFF.

Torsi pengencangan pemasangan mur dan baut

Torsi pengencangan mur dan baut saat memasang sakelar harus 1N/m .

Kisah Sukses dan Aplikasi

 

Bagian ini memperkenalkan kisah sukses Sakelar Tahan Vakum Tinggi berdasarkan industri, aplikasi, dan benda kerja.

Industri:

Semikonduktor
・ Panel LCD
OLED
・ Dirgantara

Studi Casing /aplikasi:

Aplikasi penentuan posisi berikut ini umum ditemukan dalam lingkungan vakum.
・Penentuan titik asal Benda kerja
・Penempatan Benda kerja
・Penempatan Jig

Benda kerja yang dapat dideteksi:

・Substrat, kaca, logam, plastik

Contoh implementasi sebenarnya:

・ Penempatan panggung di dalam ruang vakum
・Penempatan Benda kerja di dalam perangkat deposisi vakum
・ Peralatan sputtering
・ Penempatan dalam peralatan manufaktur film tipis
・ Penempatan wafer semikonduktor
・Panggung penempatan yang kompatibel dengan Vakum
・ Memverifikasi pemasangan masker dengan dudukan substratKatalog

Contoh Peningkatan dengan Sakelar Tahanan Vakum Tinggi

Contoh penerapan 1: Penempatan meja XY semikonduktor

Titik permasalahan

• Pergeseran sumbu XY beberapa mikron disebabkan oleh pemanasan sendiri.
• Sensor mikro foto tidak mampu menentukan titik asal secara akurat.

Setelah perbaikan

• Deteksi posisi meja yang Presisi dimungkinkan dengan sakelar sentuh tipe kontak.

Contoh penerapan 2: Konfirmasi pemasangan Substrat kaca

Titik permasalahan

• Konektor vakum khusus harganya mahal, yaitu lebih dari $2.000 USD.
• Pemasangan jendela pandang diperlukan.

* “Sensor serat vakum transparan” atau “sensor perpindahan” dari produsen lain tersedia sebagai produk pengganti.
Namun, jika dibandingkan dengan Sakelar Tahanan Vakum Tinggi, yang biasanya berharga sekitar $300 ~ $500, kisaran harga sensor serat jauh lebih tinggi, yaitu $2000 ~ $5000 atau lebih per unit dan penguatnya.

Setelah perbaikan:

• Konektor vakum khusus dan mahal tidak diperlukan.
• Biaya dapat dihemat dengan tidak memerlukan jendela tampilan (viewport).

Contoh adopsi 3: Pencarian asal operator

Titik permasalahan

• Saya ingin mencari titik asal dari sebuah alat pengangkut geser menggunakan 2 titik pada permukaan bawah dan samping.

Setelah perbaikan:

• Dengan menanamkan sakelar sentuh tipe kontak bola ke dalam alat bantu pemasangan, sistem penentuan posisi permukaan bawah dudukan dapat dirancang.
• Pencarian titik asal permukaan samping dengan presisi tinggi dirancang menggunakan sakelar tipe sentuh lurus.

Informasi Kontak dan Produk

《Kontak》
Para insinyur kami akan menjawab pertanyaan apa pun terkait metode penggunaan produk atau permintaan untuk menyesuaikan produk.
Kami dapat memberikan dukungan terbaik jika detail tentang aplikasi, lingkungan penggunaan , dan jenis benda kerja yang akan dideteksi dapat diberikan.
Gunakan formulir kontak di bawah ini untuk menghubungi kami.

Informasi lebih lanjut tentang Sakelar Tahan Vakum Tinggi:

Silakan isi formulir berikut untuk mengunduhnya. Katalog

《Lokasi Produksi》
Klik di sini untuk mengunjungi situs seri GN.