Pergeseran termal yang dikoreksi pada meja XY dalam tingkat mikron

Masalah Klien

Klien menggunakan meja inspeksi (meja XY) dan mengalami masalah dengan celah sumbu XY pada tingkat mikron karena pemanasan sendiri akibat penuaan.

Titik awal yang diberikan oleh "foto sensor mikro" tidak cukup untuk mengoreksi pergeseran termal pada tingkat mikron karena pengulangan yang rendah, yaitu 10μm.

Dia melakukan pencarian menggunakan kata kunci "perpindahan termal" "koreksi" dan menemukan produk Metrol serta halaman hubungi kami.

Saran Metrol

Meskipun sensor foto seperti "sensor mikro foto" atau "sensor fotolistrik" cocok untuk deteksi keberadaan, sensor tersebut tidak cocok untuk titik awal dengan akurasi tinggi.

Selain itu, seperti halnya meja inspeksi, sensor tersebut menyebabkan pergeseran suhu akibat pemanasan sendiri pada penguatnya, dan akurasi yang tercantum dalam spesifikasi katalog tidak dapat digunakan.

Karena "sakelar pemosisian presisi" Metrol adalah tipe mekanis presisi dan tidak menggunakan arus, maka sakelar ini tidak menyebabkan pergeseran suhu dan menggunakan pengulangan yang stabil sebesar 1μm bahkan setelah digunakan hingga tiga juta kali.

Dengan memasang sakelar posisi presisi langsung ke permukaan tepi sumbu X dan Y pada meja dan menetapkan titik pengaktifan/penonaktifan sebagai titik awal, pergeseran termal dapat dikoreksi pada tingkat mikron.

Komentar dari perwakilan Metrol

Penggunaan "sakelar posisi Presisi " sebagai titik awal penggerak memungkinkan penggerakan stage secara akurat pada meja XY dengan motor pulsa yang murah maupun meja dengan motor servo.

Kami telah mencapai pengurangan biaya yang luar biasa di sebuah produsen semikonduktor besar.
Silakan hubungi kami.

Untuk informasi lebih lanjut mengenai produk yang digunakan dalam aplikasi ini