Kerusakan wafer dapat dicegah dengan penempatan dengan pengulangan ±0,5μm.
Industri semikonduktor
Produsen perangkat semikonduktor yang memproduksi Perangkat Demounter untuk melepaskan wafer semikonduktor dari substrat.
Seorang perancang mekanisme menghubungi kami dengan beberapa pertanyaan mengenai pengatur posisi untuk penggerak mesin bongkar pasang.
Meja isi
Masalah Klien
Motor servo mengontrol alat bantu penghisap vakum saat melepaskan wafer dari alasnya dengan cara penghisapan vakum;
Namun, mereka mengalami masalah kerusakan pada wafer akibat beban alat bantu tersebut.
Perangkat tersebut melelehkan lilin yang merekatkan wafer dan alasnya, sehingga menghasilkan lingkungan bersuhu tinggi 200°C atau lebih.
Mereka mempertimbangkan untuk menggunakan sensor fotolistrik untuk memposisikan alat penghisap, tetapi tidak dapat mencapai presisi yang dibutuhkan karena suhu lingkungan yang tinggi.
Wafer tersebut rusak bahkan di bawah beban ringan, sehingga penentuan posisi dengan akurasi pengulangan ±1μm sangat penting.
Saat mencari sensor dengan presisi tinggi, ia mengenal produk Metrol melalui kunjungan ke stan kami di "Positioning EXPO 2015".
Fokus utama dari isu-isu tersebut
Ketinggian alat penjepit hisap wafer harus dideteksi dengan pengulangan ±1μm.
Lingkungan dengan suhu tinggi 200℃ membuat penggunaan sensor fotolistrik menjadi sulit.
Saran Metrol
Sensor optik seperti sensor fotolistrik dan sensor laser mudah terpengaruh oleh lingkungan eksternal dan tidak cocok untuk penentuan posisi tingkat mikron di lingkungan suhu tinggi.
Sensor Celah Udara" dari Metrol adalah sensor tanpa kontak yang menunjukkan pengulangan ±0,5µm.
Pasang nozzle ke drive dan pasang Sensor Celah Udara pada posisi yang tidak terpengaruh oleh suhu.
Deteksi celah antara alat hisap dan penggerak melalui perubahan tekanan udara memungkinkan pemosisian yang tepat dengan pengulangan ±0,5μm bahkan dalam lingkungan suhu tinggi 200°C.
Dengan memposisikan alat bantu penghisap vakum secara tepat, kerusakan pada wafer dapat dicegah.
Perbaikan
Mendeteksi ketinggian jig hisap wafer dengan akurasi ±0,5μm menggunakan deteksi celah presisi tinggi.
Menunjukkan akurasi yang konsisten bahkan dalam lingkungan suhu tinggi 200°C.
Komentar dari perwakilan Metrol
Kami sering mendengar dari situs-situs yang menggunakan perangkat deposisi vakum dan perangkat sputtering, yang mengatakan "Saya menginginkan sensor yang sangat akurat yang bekerja di lingkungan suhu tinggi!" dari berbagai industri, tidak terbatas pada industri semikonduktor.
Sensor Celah Udara yang diperkenalkan di sini menunjukkan akurasi tinggi bahkan di lingkungan suhu tinggi 200°C.
Mampu mendeteksi posisi pemasangan dengan akurat pada suhu tinggi, dengan berbagai rekam jejak yang terbukti di berbagai bidang, termasuk mendeteksi celah 10μm pada cetakan tekan dan mendeteksi keselarasan cetakan.
Pemasangan ulang dimungkinkan dengan membuka nosel udara pada detektor.
Jika Anda mengalami kesulitan dengan "penentuan posisi" atau "deteksi celah" di lingkungan suhu tinggi, jangan ragu untuk menghubungi kami.
Untuk informasi lebih lanjut mengenai produk yang digunakan dalam aplikasi ini
Sensor Celah Udara [ tipe deteksi Jarak pendek ]
Celah 10µm dapat dideteksi dengan andal!
Wujudkan "Konfirmasi penempatan yang Presisi " antara jig dan benda kerja.
